| Утвержден и введен в действие Постановлением Госстандарта СССР от 29 августа 1979 г. N 3261 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ТИПЫ И ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ Optical
instruments for surface roughness parameters measuring. Basis parameters and
types ГОСТ 9847-79 Группа П41 ОКП 44 3160 Дата введения 1 января 1981 года ИНФОРМАЦИОННЫЕ
ДАННЫЕ 1. Разработчики: А.Н. Кузнецов, А.А.
Кучин. 2. Утвержден и введен в действие
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 29.08.1979 N
3261. 3. Срок проверки - 1995 г., периодичность
- 5 лет. 4. Ссылочные нормативно-технические
документы ───────────────────────────────────────┬────────────────────────── Обозначение НТД, на который дана ссылка│ Номер пункта ───────────────────────────────────────┼────────────────────────── ГОСТ 2789-73 │Вводная часть 5. Проверен в 1991 г. Ограничение срока
действия снято Постановлением Государственного комитета СССР по управлению
качеством продукции и стандартам от 23.04.1991 N 551. 6. Переиздание (декабрь 1992 г.) с
Изменениями N 1, 2, утвержденными в декабре 1986 г., апреле 1991 г. (ИУС 3-87,
7-91). Настоящий стандарт распространяется на
оптические приборы (далее - приборы), действие которых основано на принципе
одновременного преобразования профиля поверхности, предназначенные для
измерения параметров Требования к величине линейного поля
зрения (табл. 4, 5 и 6), а также требования пп. 2.1,
2.2.1 - 2.2.3, 2.4.1 - 2.4.3, 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются
обязательными, другие требования - рекомендуемыми. (Измененная
редакция, Изм. N 2). 1. ТИПЫ Типы приборов устанавливаются следующие: ПТС - прибор теневого сечения; ПСС - прибор светового сечения; МИИ - микроскоп интерференционный
измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света; МПИ - микроскоп-профилометр
интерференционный, действие которого основано на интерференции света с
образованием полос равного хроматического порядка. (Измененная
редакция, Изм. N 1). 2. ОСНОВНЫЕ
ПАРАМЕТРЫ 2.1. Диапазон измерений параметров
шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов
измерений, указанных в табл. 1. Таблица 1 ─────────────────────┬───────────────────────────┬───────────────────────── Тип прибора │ Параметр шероховатости │ Пределы измерений ─────────────────────┼───────────────────────────┼───────────────────────── ПТС │ Rz, R │ 40 - 320 мкм │ max │ ├───────────────────────────┼───────────────────────── │ S │ 0,2 - 1,6 мм ─────────────────────┼───────────────────────────┼───────────────────────── ПСС │ Rz, R │ 0,5 - 40 мкм │ max │ ├───────────────────────────┼───────────────────────── │ S │ 0,002 - 0,5 мм ─────────────────────┼───────────────────────────┼───────────────────────── МИИ │ Rz, R │ 0,05 - 0,8 мкм │ max │ ├───────────────────────────┼───────────────────────── │ S │ 0,002 - 0,05 мм ─────────────────────┼───────────────────────────┼───────────────────────── МПИ │ Rz, R │ 0,05 - 0,8 мкм │ max │ Примечание. Допускается изготовлять
приборы специального назначения с диапазоном измерения, выходящим за пределы,
указанные в табл. 1. (Измененная
редакция, Изм. N 1). 2.2. Основные параметры приборов типов
ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл. 2 и
в пп. 2.2.1 - 2.2.3. Таблица 2 ──────────────────┬────────────┬────────────────┬─────────┬──────────────── Диапазон измерения│ Линейное │ Увеличение │Апертура │ Общее параметров Rz │поле зрения,│ объектива с │объектива│ увеличение и R , мкм │мм, не менее│ дополнительной │ │ микроскопа, max │ │ линзой, крат, │ │ крат, не более │ │ не менее │ │ ──────────────────┼────────────┼────────────────┼─────────┼──────────────── От 40 до 320 │ 8 │ 1 │ 0,03 │ 32 │ │ │ 0,05 │ 32 ──────────────────┼────────────┼────────────────┼─────────┼──────────────── От 10 до 40 │ 2,5 │ 4 │ 0,1 │ 80 │ │ │ 0,12 │ 60 │ │ │ 0,15 │ 60 ──────────────────┼────────────┼────────────────┼─────────┼──────────────── От 4 до 10 │ 0,8 │ 10 │ 0,2 │ 200 │ │ │ 0,3 │ 160 ──────────────────┼────────────┼────────────────┼─────────┼──────────────── От 1,6 до 4 │ 0,8 │ 12,5 │ 0,4 │ 260 │ │ │ 0,45 │ 200 ──────────────────┼────────────┼────────────────┼─────────┼──────────────── От 0,5 до 1,6 │ 0,25 │ 32 │ 0,5 │ 750 │ │ │ 0,6 │ 520 Термины, используемые в стандарте, и их
определения указаны в Приложении 2. 2.2.1. Номинальные значения характеристик
объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе
наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений. 2.2.2. Номинальное значение угла между
оптическими осями микроскопов должно быть 90°. 2.2.3. Отклонение от прямолинейности
изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно
превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра. 2.3; 2.3.1. (Исключены,
Изм. N 1). 2.4. Основные параметры приборов типа МИИ
должны соответствовать указанным в табл. 5 и пп. 2.4.1 - 2.4.3. Таблица 5 ─────────────────────┬─────────────────┬───────────────┬─────────────────── Диапазон измерения │ Линейное поле │ Апертура │ Общее увеличение параметров Rz │ зрения, мм, │ объектива │ микроскопа, крат, и R , мкм │ не менее │ │ не более max │ │ │ ─────────────────────┼─────────────────┼───────────────┼─────────────────── От 0,1 до 0,8 │ 0,25 │ 0,3 │ 400 │ ├───────────────┼─────────────────── │ │ 0,5; │ 670 │ │ 0,65 │ ─────────────────────┼─────────────────┼───────────────┼─────────────────── От 0,05 до 0,4 │ 0,25 │ 0,85; │ 1120 │ │ 0,95 │ ─────────────────────┼─────────────────┼───────────────┼─────────────────── От 0,05 до 0,1 │ 0,08 │ 0,95; │ 2500 │ │ 1,25 │ 2.4.1. Искривление интерференционных
полос в поле зрения в направлении измерения не должно быть более 0,1 полосы для
диапазона измерения от 0,1 до 0,8 мкм и 0,05 полосы для диапазона измерения от
0,05 до 0,1 мкм. 2.4.2. Смещение интерференционных полос в
поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через 1 ч
после включения прибора. 2.4.3. Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника
монохроматического излучения - 2 нм. 2.5. Основные параметры приборов типа МПИ
должны соответствовать указанным в табл. 6. Таблица 6 ────────────────────────────────────────────┬────────────────────────────── Наименование параметра │ Пределы измерения параметров │ Rz и R , мкм │ max ├───────────────┬────────────── │ от 0,1 до 0,8 │от 0,05 до 0,5 ────────────────────────────────────────────┼───────────────┴────────────── Апертура объектива, не менее │ 0,5 Линейное поле зрения, мм, не менее │ 0,25 Общее увеличение прибора, не менее │ 300 │ 500 Обратная линейная дисперсия диспергирующей │ 60 │ 30 системы для лямбда , нм/мм, не более │ │ D │ │ Предел разрешения диспергирующей системы │ 0,35 │ 0,2 для лямбда , нм, не более │ │ D │ │ Число интерференционных полос равного │ 5 │ 3 хроматического порядка в рабочей части поля │ │ зрения │ │ Смещение интерференционных полос равного │ 1 хроматического порядка в поле зрения в │ течение 15 мин через 1 ч после включения │ в долях полосы, не более │ 2.6. Увеличение при фотографировании
должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего
линейному полю зрения, указанному в табл. 2, 3, 5, 6. 2.7. Характеристики относительной
погрешности для приборов типов ПТС, ПСС, определяемые по параметру Таблица 7 ────────────────────┬────────┬───────────────┬────────────────┬──────────── Диапазон измерения │Базовая │ Предел │Предел допускае-│ Предел параметра R , мкм │ длина, │ допускаемой │мого среднего │допускаемой max │ мм │систематической│квадратического │ суммарной │ │ составляющей │отклонения │погрешности │ │погрешности, %,│случайной │ среднего │ │ для типов │составляющей │ трех │ │ │погрешности, %, │ измерений, │ │ │для типов │%, для типов │ ├───────────────┼────────────────┼──────────── │ │ ПТС, ПСС │ ПТС, ПСС │ ПТС, ПСС ────────────────────┼────────┼───────────────┼────────────────┼──────────── Св. 160 до 320 │ 8 │ 2,0 │ 0,5 │ 2,5 Св. 80 до 160 │ 8 │ 2,5 │ 1,0 │ 3,5 Св. 40 до 80 │ 8 │ 3,0 │ 1,7 │ 5,0 Св. 30 до 40 │ 2,5 │ 3,2 │ 1,7 │ 5,5 Св. 20 до 30 │ 2,5 │ 3,6 │ 2,0 │ 6,5 Св. 10 до 20 │ 2,5 │ 4,0 │ 3,5 │ 8,5 Св. 6,3 до 10 │ 0,8 │ 5,0 │ 4,5 │ 10,0 Св. 3,2 до 6,3 │ 0,8 │ 7,0 │ 6,5 │ 14,0 Св. 1,6 до 3,2 │ 0,8 │ 9,0 │ 8,0 │ 20,0 Св. 0,63 до 1,6 │ 0,25 │ 12,0 │ 10,0 │ 24,0 Св. 0,5 до 0,63│ 0,25 │ 16,0 │ 12,0 │ 30,0 (Измененная
редакция, Изм. N 1). 2.8. Характеристики относительной
погрешности приборов типов МИИ и МПИ, определяемые по параметру Таблица 8 ─────┬───────────┬───────┬─────────┬───────────┬───────────────┬─────────── Тип │ Диапазон │Базовая│Апертура │Предел │ Предел │ Предел при- │ измерения │длина, │объекти- │допускаемой│ допускаемого │допускаемой бора │параметров │ мм │ва │системати- │ среднего │ суммарной │ R , мкм │ │ │ческой по- │квадратического│погрешности │ max │ │ │грешности, │ отклонения │ трех │ │ │ │% │ случайной │измерений, │ │ │ │ │погрешности, % │ % ─────┼───────────┼───────┼─────────┼───────────┼───────────────┼─────────── МИИ │ Св. 0,4 │ 0,25 │ 0,3 │ 20 │ 5 │ 24 │ до 0,8 │ ├─────────┼───────────┼───────────────┼─────────── │ │ │ От 0,5 │ 14 │ 5 │ 18 │ │ │ до 0,65 │ │ │ │ │ ├─────────┼───────────┼───────────────┼─────────── │ │ │ От 0,85 │ 10 │ 5 │ 15 │ │ │ до 0,95 │ │ │ ─────┤ │ ├─────────┼───────────┼───────────────┼─────────── МПИ │ │ │ 0,5 │ 14 │ 5 │ 18 ─────┼───────────┼───────┼─────────┼───────────┼───────────────┼─────────── МИИ │ Св. 0,1 │ 0,25 │ От 0,5 │ 30 │ 10 │ 40 │ до 0,4 │ │ до 0,65 │ │ │ │ │ ├─────────┼───────────┼───────────────┼─────────── │ │ │ От 0,85 │ 20 │ 10 │ 30 │ │ │ до 1,25 │ │ │ ─────┤ │ ├─────────┼───────────┼───────────────┼─────────── МПИ │ │ │ 0,5 │ 18 │ 10 │ 30 ─────┼───────────┼───────┼─────────┼───────────┼───────────────┼─────────── МИИ │ Св. 0,05 │ 0,08 │ От 0,95 │ 30 │ 20 │ 50 │ до 0,1 │ │ до 1,25 │ │ │ ─────┤ │ ├─────────┼───────────┼───────────────┼─────────── МПИ │ │ │ 0,5 │ 10 │ 20 │ 35 Приложение 1. (Исключено,
Изм. N 1). Приложение 2 Справочное ТЕРМИНЫ, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ В СТАНДАРТЕ, И ИХ
ОПРЕДЕЛЕНИЯ 1. (Исключен, Изм.
N 1). 2. Увеличение объектива с дополнительной
линзой для приборов типов ПТС и ПСС - увеличение оптической системы,
проектирующей изображение в предметную плоскость окуляра. |
