ГОСТ 5.2105-73

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Обозначение:ГОСТ 5.2105-73
Статус:действующий
Название рус.:Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название англ.:Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста:27.10.2010
Дата актуализации описания:27.10.2010
Дата введения в действие:01.09.1973
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов


ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73

 


 
© Информационно-справочная онлайн система "Технорма.RU" , 2010.
Бесплатный круглосуточный доступ к любым документам системы.

При полном или частичном использовании любой информации активная гиперссылка на Tehnorma.RU обязательна.


Внимание! Все документы, размещенные на этом сайте, не являются их официальным изданием.
 
Яндекс цитирования