"Рекомендация. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 1 х 10(-6) - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2

Утверждена

НТК Государственного

комитета СССР по управлению

качеством продукции и стандартам

13 марта 1990 года

РЕКОМЕНДАЦИЯ

ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ

ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ 1 Х 10(-6) - 50 М И ДЛИН ВОЛН

В ДИАПАЗОНЕ 0,2 - 50 МКМ

МИ 2060-90

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. Разработана и внесена Государственным комитетом СССР по управлению качеством продукции и стандартам.

Разработчики: Е.И. Латышева (руководитель темы); Г.И. Лейбенгардт (руководитель темы); Л.Ю. Абрамова; Ц.И. Глозман; Ю.П. Ефремов, канд. техн. наук; В.Л. Шур, канд. техн. наук.

2. Утверждена НТК Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам 13.03.90.

3. Зарегистрирована ВНИИМС 13.03.90.

4. Взамен ГОСТ 8.101-80 и ГОСТ 8.020-75.

Настоящая рекомендация распространяется на государственную поверочную

-6

схему для средств измерений длины в диапазоне 1 х 10 - 50 м и длин волн в

диапазоне 0,2 - 50 мкм и устанавливает порядок передачи размеров единиц

длины и частоты от единого эталона единиц времени - секунды (с), частоты -

герца (Гц) и длины - метра (м) при помощи вторичных эталонов и образцовых

средств измерений рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и

основных методов поверки.

Поверочная схема состоит из трех частей:

часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн (черт. 1);

часть 2. Штриховые меры длины и измерители перемещений (черт. 2);

часть 3. Плоскопараллельные концевые меры длины (черт. 3).

1. ЭТАЛОНЫ

1.1. Единый эталон единиц времени, частоты и длины применяют для воспроизведения и передачи размеров единиц времени и частоты в соответствии с ГОСТ 8.129-83 и размеров единиц длины и частоты оптического диапазона вторичным эталонам методом прямых измерений и сличением при помощи частотного компаратора и мер сравнения в диапазонах 10 - 1000 мм.

1.2. Вторичные эталоны 1-й части

1.2.1. В качестве рабочих эталонов применяют комплекс средств измерений, состоящий из лазеров, стабилизированных по частоте с использованием атомных и молекулярных реперов.

1.2.2. Средние квадратические отклонения результатов сличений S

СИГМА0

рабочих эталонов с единым эталоном единиц времени, частоты и длины

-11 -9

составляют от 3 х 10 до 1 х 10 при 100 независимых измерениях.

1.2.3. Рабочие эталоны применяют для передачи размеров единиц длины и частоты образцовым средствам измерений 1-го и 2-го разрядов сличением при помощи компаратора и методом прямых измерений, а также рабочим частотно-стабилизированным лазерам непрерывного излучения сличением при помощи компаратора.

1.3. Вторичные эталоны 2-й части

1.3.1. В качестве эталонов-копий применяют интерференционные установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне 0,001 - 1000 мм, с использованием излучения частотно-стабилизированных лазеров.

1.3.2. Средние квадратические отклонения результатов сличений S

СИГМА

эталонов-копий с государственным первичным эталоном единицы длины не должны

превышать (0,02 + 0,04L) мкм, где L - длина, м.

1.3.3. Эталоны-копии применяют для поверки рабочих эталонов четырехметрового компаратора с набором штриховых мер длины и геодезических жезлов; образцовых 1-го разряда штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины и рабочих измерителей линейных перемещений методом прямых измерений.

1.3.4. В качестве рабочих эталонов применяют штриховые меры длины и установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне 0,001 - 1000 мм, а также четырехметровый компаратор с набором штриховых мер длины и геодезических жезлов в диапазоне 1000 - 4000 мм.

1.3.5. Доверительные абсолютные погрешности дельта рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,03 + 0,1L) до 0,3 мкм.

1.3.6. Рабочие эталоны применяют для поверки образцовых 1-го разряда штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины методом прямых измерений и сличением при помощи компаратора, установок для поверки измерительных лент - методом прямых измерений.

1.4. Вторичные эталоны 3-й части

1.4.1. В качестве эталонов-копий применяют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах 0,1 - 100 и 100 - 1000 мм, с использованием излучения частотно-стабилизированных лазеров и спектральных ламп с изотопом кадмия-114.

1.4.2. Средние квадратические отклонения результатов сличений S

СИГМА

эталонов-копий с государственным первичным эталоном единицы длины не должны

превышать (0,01 + 0,04L) мкм.

1.4.3. Эталоны-копии применяют для поверки образцовых 1-го разряда плоскопараллельных концевых мер длины и кварцевых геодезических жезлов методом прямых измерений, а также образцовых 1-го разряда приборов для поверки средств измерений внутренних размеров сличением при помощи мер сравнения.

1.4.4. В качестве рабочих эталонов применяют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах 0,1 - 100 и 100 - 1000 мм, с использованием излучения частотно-стабилизированных лазеров, спектральных ламп с изотопом кадмия-114, с естественным криптоном и гелием.

1.4.5. Доверительные абсолютные погрешности дельта рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,99 не должны превышать (0,02 + 0,1L) мкм.

1.4.6. Рабочие эталоны применяют для поверки образцовых 1-го разряда и рабочих классов точности 00 и 01 плоскопараллельных концевых мер длины в диапазоне 0,1 - 1000 мм методом прямых измерений.

2. ОБРАЗЦОВЫЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

2.1. Образцовые средства измерений 1-й части

2.1.1. Образцовые средства измерений 1-го разряда

2.1.1.1. В качестве образцовых средств измерений 1-го разряда применяют спектральные лампы в диапазоне 0,4 - 0,7 мкм, частотно-стабилизированные лазеры и измерители длин волн лазеров в диапазоне 0,4 - 11 мкм.

2.1.1.2. Доверительные относительные погрешности дельта образцовых

средств измерений 1-го разряда при доверительной вероятности 0,99

-10 -8

составляют от 2 х 10 до 7 х 10 .

2.1.1.3. Образцовые средства измерений 1-го разряда применяют для поверки образцовых средств измерений 2-го разряда и рабочих частотно-стабилизированных лазеров непрерывного излучения, а также источников излучения, входящих в состав измерителей линейных перемещений (часть 2), сличением при помощи компаратора, методом прямых измерений и непосредственным сличением.

2.1.2. Образцовые средства измерений 2-го разряда

2.1.2.1. В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда применяют спектральные лампы и стандартные образцы спектра поглощения и пропускания в диапазоне 0,2 - 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне 0,4 - 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного излучения в диапазоне 0,4 - 1,2 мкм.

2.1.2.2. Доверительные относительные погрешности дельта образцовых

средств измерений 2-го разряда при доверительной вероятности 0,99

-8 -3

составляют от 1 х 10 до 1 х 10 .

2.1.2.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений, сличением при помощи компаратора и непосредственным сличением.

2.2. Образцовые средства измерений 2-й части

2.2.1. Образцовые средства измерений 1-го разряда

2.2.1.1. В качестве образцовых средств измерений 1-го разряда применяют штриховые меры длины, дифракционные голографические меры длины в диапазоне 0,001 - 1000 мм, установки для поверки измерительных лент в диапазоне 0,001 - 24 м и кварцевые геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.

2.2.1.2. Доверительные абсолютные погрешности дельта образцовых средств измерений 1-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,02 + 0,2L) мкм до (1 + 1L) мкм.

2.2.1.3. Образцовые средства измерений 1-го разряда применяют для поверки образцовых 2-го разряда и рабочих средств измерений сличением при помощи компаратора и методом прямых измерений.

2.2.2. Образцовые средства измерений 2-го разряда

2.2.2.1. В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда применяют штриховые меры длины, голографические измерительные системы линейных перемещений в диапазоне 0,001 - 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне 0,001 - 24 м.

2.2.2.2. Доверительные абсолютные погрешности дельта образцовых средств измерений 2-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,2 + 0,5L) мкм до (2 + 2L) мкм.

2.2.2.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда применяют для поверки образцовых 3-го и 4-го разрядов и рабочих средств измерений методом прямых измерений, сличением при помощи компаратора и непосредственным сличением.

2.2.3. Образцовые средства измерений 3-го разряда

2.2.3.1. В качестве образцовых средств измерений 3-го разряда применяют штриховые меры длины, растровые измерительные преобразователи в диапазоне 0,1 - 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне 0,001 - 50 м.

2.2.3.2. Доверительные абсолютные погрешности дельта образцовых средств измерений 3-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от (1 + 5L) мкм до (10 + 10L) мкм.

2.2.3.3. Образцовые средства измерений 3-го разряда применяют для поверки образцовых 4-го разряда и рабочих средств измерений сличением при помощи компаратора и непосредственным сличением.

2.2.4. Образцовые средства измерений 4-го разряда

2.2.4.1. В качестве образцовых средств измерений 4-го разряда применяют штриховые меры длины в диапазоне 0,1 - 1000 мм.

2.2.4.2. Доверительные абсолютные погрешности дельта образцовых штриховых мер длины 4-го разряда при доверительной вероятности 0,99 не должны превышать (20 + 30L) мкм.

2.2.4.3. Образцовые средства измерений 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений непосредственным сличением.

2.3. Образцовые средства измерений 3-й части

2.3.1. Образцовые средства измерений 1-го разряда

2.3.1.1. В качестве образцовых средств измерений 1-го разряда применяют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне 0,1 - 1000 мм, приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне 1 - 160 мм и кварцевые геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.

2.3.1.2. Доверительные абсолютные погрешности дельта образцовых средств измерений 1-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,02 + 0,2L) мкм до (0,05 + 0,5L) мкм.

2.3.1.3. Образцовые средства измерений 1-го разряда применяют для поверки образцовых 2-го разряда и рабочих средств измерений методом прямых измерений и сличением при помощи компаратора.

2.3.2. Образцовые средства измерений 2-го разряда

2.3.2.1. В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда применяют установки для поверки измерительных головок в диапазоне 0,1 - 10 мм, установки для поверки измерительных преобразователей и приборов в динамическом режиме в диапазоне 0,005 - 0,2 мм, плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне 0,1 - 1000 мм, приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне 1 - 200 мм и измерительные кольца в диапазоне 1 - 160 мм.

2.3.2.2. Доверительные абсолютные погрешности дельта образцовых средств измерений 2-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от 0,04 до 2 мкм и (0,1 + 1L) мкм.

2.3.2.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда применяют для поверки образцовых 3-го разряда и рабочих средств измерений сличением при помощи компаратора и методом прямых измерений.

2.3.3. Образцовые средства измерений 3-го разряда

2.3.3.1. В качестве образцовых средств измерений 3-го разряда применяют плоскопараллельные концевые меры длины и измерительные системы гибких производственных модулей в диапазоне 0,1 - 1000 мм, измерительные кольца в диапазоне 1 - 160 мм и приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне 1 - 200 мм.

2.3.3.2. Доверительные абсолютные погрешности дельта образцовых средств измерений 3-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,1 + 1L) до (0,02 + 2L) мкм.

2.3.3.3. Образцовые средства измерений 3-го разряда применяют для поверки образцовых 4-го разряда и рабочих средств измерений методом прямых измерений и сличением при помощи компаратора.

2.3.4. Образцовые средства измерений 4-го разряда

2.3.4.1. В качестве образцовых средств измерений 4-го разряда применяют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне 0,1 - 1000 мм, приборы для поверки индикаторов и индикаторных нутромеров в диапазоне 0 - 10 мм и измерительные кольца в диапазоне 1 - 160 мм.

2.3.4.2. Доверительные абсолютные погрешности дельта при доверительной вероятности 0,99 образцовых средств измерений 4-го разряда составляют от (0,2 + 2L) мкм до (0,5 + 5L) мкм.

2.3.4.3. Образцовые средства измерений 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений и сличением при помощи компаратора.

3. РАБОЧИЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

3.1. Рабочие средства измерений 1-й части

3.1.1. В качестве рабочих средств измерений применяют спектрометры и спектрофотометры в диапазоне 0,2 - 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения и частотно-стабилизированные и нестабилизированные лазеры непрерывного излучения меры длин волн в диапазоне 0,4 - 11 мкм, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне 0,4 - 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного излучения и лазеры импульсного излучения в диапазоне 0,4 - 1,2 мкм.

3.1.2. Доверительные относительные погрешности дельта

частотно-стабилизированных лазеров повышенной точности и стабильности при

-10 -8

доверительной вероятности 0,99 составляют от 1 х 0 до 3 х 10 .

Пределы допускаемых относительных погрешностей ДЕЛЬТА рабочих средств

-8 -2

измерений составляют от 3 х 10 до 1 х 10 .

3.2. Рабочие средства измерений 2-й части

3.2.1. В качестве рабочих средств измерений применяют измерители линейных перемещений в диапазоне 0,01 - 30000 мм, штриховые меры длины в диапазоне 0,1 - 2000 мм классов точности 0; 1; 2; 3; 4; 5; измерительные преобразователи линейных перемещений в диапазоне 0 - 32000 мм; приборы для измерений наружных и внутренних размеров в диапазоне 0 - 1000 мм; складные меры и измерительные линейки в диапазоне 0 - 1000 мм, нивелирные рейки в диапазоне 0 - 4000 мм, лесные вилки в диапазоне 1 - 750 мм; измерительные рулетки длиной до 50 м класса точности 1 и длиной до 100 м классов точности 2 и 3; землемерные ленты длиной до 50 м, мерные проволоки длиной до 24 м.

3.2.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей ДЕЛЬТА рабочих средств измерений составляют от 0,05 мкм до 14 мм.

3.3. Рабочие средства измерений 3-й части

3.3.1. В качестве рабочих средств измерений применяют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне 0,1 - 1000 мм классов точности 00; 01; 0,1; 2; 3; 4; 5; контактные интерферометры с ценой деления 0,02 - 0,2 мкм; преобразователи, приборы автоматизированного контроля, средства измерений, работающие в динамическом режиме; приборы для измерений наружных и внутренних размеров, штангенинструмент в диапазонах 0 - 2500 мм; средства автоматизированного контроля гибких производственных систем в диапазоне 0 - 500 мм; установочные кольца в диапазоне 1 - 160 мм; установочные концевые меры, проволочки и ролики для измерений среднего диаметра резьбы; принадлежности к концевым мерам длины (боковики).

3.3.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей ДЕЛЬТА рабочих средств измерений составляют от 0,02 мкм до 1 мм.

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ

-6

ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ 1 Х 10 - 50 М И ДЛИН ВОЛН

В ДИАПАЗОНЕ 0,2 - 50 МКМ

Часть 1. ИСТОЧНИКИ ИЗЛУЧЕНИЙ И СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИН ВОЛН

┌──────┬────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────┐

│ЭТА- │ ┌───────────────────────────────────────────────────────────────────────────┐ │

│ЛОНЫ │ │ ЕДИНЫЙ ЭТАЛОН ЕДИНИЦ ВРЕМЕНИ, ЧАСТОТЫ И ДЛИНЫ │ │

│ │ │┌───────────────────────────────┐ ┌──────────┐ ┌─────────────────────────┐│ │

│ │ ││ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕРВИЧНЫЙ │ │аппаратура│ │ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕРВИЧНЫЙ││ │

│ │ ││ЭТАЛОН ЕДИНИЦ ВРЕМЕНИ И ЧАСТОТЫ├──┤ связи ├─┤ ЭТАЛОН ЕДИНИЦЫ ДЛИНЫ ││ │

│ │ │└───────────────┬───────────────┘ └──────────┘ └─────────────┬───────────┘│ │

│ │ └────────────────┼─────────────────────────────────────────────┼────────────┘ │

│ │ ┌───────┴───────────┐ ┌─────────┴─────────┐ │

│ │ │Сличение при помощи│ │Сличение при помощи│ │

│ │ │ компаратора │ │ компаратора │ │

│ │ │ -12│ │ -12│ │

│ │ │дельта' = 1 х 10 │ │дельта' = 1 х 10 │ │

│ │ │ 0 │ │ 0 │ │

│ │ └───────┬───────────┘ └─────────┬─────────┘ │

│ │ └──────────────────────┬──────────────────────┘ │

│ │ ┌──────────────────────┴─────────────────────┐ │

│ │ │ РАБОЧИЕ ЭТАЛОНЫ │ │

│ │ │ частотно-стабилизированные лазеры │ │

│ │ │ -11 -9│ │

│ │ │0,4 - 11 мкм; S = 3 х 10 - 1 х 10 │ │

│ │ │ СИГМА0 │ │

│ │ └──────────────────────┬─────────────────────┘ │

│ │ ┌───────────────┴───────────────────────────┬──────────────────────────────────────────┐ │

│ │ ┌─────────────────┴─────────────┐ ┌───────────────┴───────────────┐ │ │

│ │ │Сличение при помощи компаратора│ │ Метод прямых измерений │ │ │

├─ -- ┼ -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- ─┤ -11 -9 ├─ -- -- ──┤ -11 -9 ├ -- -- -- -- -- -- ─┼ -- -- ─┤

│Образ-│ │дельта' = 1 х 10 - 1 х 10 │ │дельта' = 1 х 10 - 1 х 10 │ │ │

│цовые │ │ 0 │ │ 0 │ │ │

│сред- │ └─────────────────┬─────────────┘ └───────────────┬───────────────┘ │ │

│ства │ ┌───────────────────────────────────┬───────────────────┤ │ │ │

│изме- │┌────────┴────────────────────┐ │ ┌──────────────┴──────────────────┐ ┌───────────────┴─────────────────┐ │ │

│рений ││ Спектральные лампы │ │ │Частотно-стабилизированные лазеры│ │ Измерители длин волн лазеров │ │ │

│1-го ││ 0,4 - 0,7 мкм │ │ │ 0,4 - 11 мкм │ │ 0,4 - 11 мкм │ │ │

│раз- ││ -9 -8│ │ │ -10 -8 │ │ -10 -8 │ │ │

│ряда ││дельта = 5 х 10 - 7 х 10 │ │ │ дельта = 2 х 10 - 1 х 10 │ │ дельта = 2 х 10 - 1 х 10 │ │ │

│ ││ 0 │ │ │ 0 │ │ 0 │ │ │

│ │└────────┬────────────────────┘ │ └───────────────┬─────────────────┘ └───────────────┬─────────────────┘ │ │

│ │ │ │ ┌─────────┴───────────┐ ┌─────────┴──────────────┐ │ │

│ │┌────────┴──────────┐ │ ┌────────┴──────────┐ ┌────────┴─────────┐ ┌────────┴──────────┐ ┌───────────┴──────┐ ┌────────┴──────────┐│

│ ││Сличение при помощи│ │ │ Сличение при │ │ Метод прямых │ │ Метод прямых │ │ Непосредственное │ │ Метод прямых ││

│ ││ компаратора │ │ │помощи компаратора │ │ измерений │ │ измерений │ │ сличение │ │ измерений ││

│ ││ -6 │ │ │ -10│ │ -9│ │ -10│ │ -9│ │ -8 ││

├─ -- ┼┤дельта' = 1 х 10 ├── -- -- -- -- -- ┼─┤дельта' = 1 х 10 ├ ┤дельта' = 1 х 10 ├ ┤дельта' = 1 х 10 ├ ┤дельта' = 1 х 10 ├─ -- -- ┤дельта' = 1 х 10 ├┤

│Образ-││ 0 │ │ │ 0 │ │ 0 │ │ 0 │ │ 0 │ │ 0 ││

│цовые ││ -5 │ │ │ -8 │ │ -7 │ │ -8 │ │ -7 │ │ -7 ││

│сред- ││ - 1 х 10 │ │ │ - 1 х 10 │ │ - 1 х 10 │ │ - 1 х 10 │ │ - 1 х 10 │ │ - 1 х 10 ││

│ства │└────────┬──────────┘ │ └───┬────┬───┬──────┘ └────────┬─────────┘ └────────┬──────────┘ └─────────┬────────┘ └────────┬──────────┘│

│изме- │ │ │ │ │ │ └───────────────┬────┼──────────────────────┼─────────────────────────┐ │ │

│рений │ │ ┌──────────┼─────┼────┴───┼─────────────────────────────────┼────┘ │ │ │ │

│2-го │┌────────┴───────────┐ ┌──────────┴────────┐ │ │ │ ┌──────────┴─────────┐ ┌──────────┴─────────┐ ┌────────┴───┴───────┐ │

│раз- ││Спектральные лампы и│ │ Частотно- │ │ \/ │ │Измерители длин волн│ │ Лазерные │ │Измерители длин волн│ │

│ряда ││стандартные образцы │ │ стабилизированные │ │ См. черт. 2 │ │ непрерывного │ │ спектрометры │ │лазеров импульсного │ │

│ ││ спектра поглощения │ │лазеры непрерывного│ │ │ │ излучения │ │ 0,4 - 11 мкм │ │ излучения │ │

│ ││ и пропускания │ │ излучения │ │ │ │ 0,4 - 11 мкм │ │ -7 │ │ 0,4 - 1,2 мкм │ │

│ ││ 0,2 - 50 мкм │ │ 0,4 - 11 мкм │ │ │ │ -8 │ │дельта = 1 х 10 -│ │ -8 │ │

│ ││ -5 │ │ -8 │ │ │ │дельта = 1 х 10 -│ │ 0 │ │дельта = 1 х 10 -│ │

│ ││дельта = 2 х 10 -│ │дельта = 1 х 10 │ │ │ │ 0 │ │ -6 │ │ 0 │ │

│ ││ 0 │ │ 0 │ │ │ │ -6 │ │ 1 х 10 │ │ -6 │ │

│ ││ -3 │ │ -6 │ │ │ │ 1 х 10 │ │ │ │ 1 х 10 │ │

│ ││ 1 х 10 │ │ - 1 х 10 │ │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ │└────────┬───────────┘ └──────────┬────────┘ │ │ └──────────┬─────────┘ └─────────┬──────────┘ └────────┬───────────┘ │

│ │ └────────┐ ┌────────┴──────────┼──────────────┼────────┐ ┌────────┴───────┐ │ ┌───────┴────────┐ │

│ │ ┌──┴──────┴──┐ │ │ ┌──────┴─────┐ ┌─────┴──────┐ ┌───────┴────────┐ ┌───────┴────────┐ ┌───────┴────────┐┌──────┴─────┐│

│ │ │Метод прямых│ │ │ │Сличение при│ │Метод прямых│ │Непосредственное│ │Непосредственное│ │Непосредственное││Метод прямых││

│ │ │ измерений │ │ │ │ помощи │ │ измерений │ │ сличение │ │ сличение │ │ сличение ││ измерений ││

│ │ │ дельта' = │ │ │ │компаратора │ │ дельта' = │ │ -8 │ │ дельта' = │ │ дельта' = ││ дельта' = ││

│ │ │ 0 │ │ │ │ дельта' = │ │ 0 │ │дельта' = 10 -│ │ 0 │ │ 0 ││ 0 ││

├─ -- ┼─ -- -- -- ─┤ -6 ├─ -- -- -- ─┼─ -- -- -- ┼─┤ 0 ├─ ─┤ -8 ├ ┤ 0 ├ ┤ -7 ├ ┤ -8 ├┤ -7 ├┤

│Рабо- │ │ 1 х 10 - │ │ │ │ -8 │ │ 1 х 10 - │ │ -6 │ │ 1 х 10 - │ │ 3 х 10 - ││ 5 х 10 - ││

│чие │ │ -3 │ │ │ │ 1 х 10 - │ │ -6 │ │ 1 х 10 │ │ -6 │ │ -6 ││ -5 ││

│сред- │ │ 1 х 10 │ │ │ │ -6 │ │ 1 х 10 │ │ │ │ 1 х 10 │ │ 1 х 10 ││ 1 х 10 ││

│ства │ │ │ │ │ │ 1 х 10 │ │ │ │ │ │ │ │ ││ ││

│изме- │ └─────┬──────┘ │ │ └──────┬─────┘ └─────┬──────┘ └───────┬────────┘ └───────┬────────┘ └───────┬────────┘└──────┬─────┘│

│рений │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ │ │ │ │ └──────────┐ ┌──┘ │ │ │ │ │

│ │ ┌────────┴───────┐ ┌─────────┴─────────┐┌───┴─────────────┐┌────┴─┴────────────┐┌─────┴─────────┐ ┌─────┴──────┐ ┌───────┴───────┐┌───────┴─────┐│

│ │ │ Спектрометры и │ │ Частотно- ││ Частотно- ││ Частотно- ││Измерители длин│ │ Лазерные │ │Измерители длин││ Лазеры ││

│ │ │спектрофотометры│ │стабилизированные ││стабилизированные││стабилизированные ││ волн лазеров │ │спектрометры│ │ волн лазеров ││ импульсного ││

│ │ │0,2 - 50 мкм │ │лазеры непрерывного││ лазеры ││ лазеры и ││ непрерывного │ │0,4 - 11 мкм│ │ импульсного ││ излучения ││

│ │ │ ДЕЛЬТА = │ │ излучения ││ непрерывного ││нестабилизированные││ излучения │ │ ДЕЛЬТА = │ │ излучения ││0,4 - 1,2 мкм││

│ │ │ 0 │ │ 0,4 - 11 мкм ││ излучения ││лазеры непрерывного││ 0,4 - 11 мкм │ │ 0 │ │ 0,4 - 1,2 мкм ││ ДЕЛЬТА = ││

│ │ │ -5 │ │ ДЕЛЬТА = ││ 0,4 - 11 мкм ││ излучения - меры ││ ДЕЛЬТА = │ │ -6 │ │ ДЕЛЬТА = ││ 0 ││

│ │ │ 1 х 10 - │ │ 0 ││ ДЕЛЬТА = ││ длин волн ││ 0 │ │ 1 х 10 - │ │ 0 ││ -6 ││

│ │ │ -2 │ │ -10 ││ 0 ││ 0,4 - 11 мкм ││ -7 │ │ -4 │ │ -7 ││ 1 х 10 - ││

│ │ │ 1 х 10 │ │ 1 х 10 - ││ -9 ││ -8 ││ 1 х 10 - │ │ 1 х 10 │ │ 1 х 10 - ││ -4 ││

│ │ │ │ │ -9 ││ 1 х 10 - ││ДЕЛЬТА = 3 х 10 ││ -4 │ │ │ │ -4 ││ 5 х 10 ││

│ │ │ │ │ 3 х 10 ││ ││ 0 ││ 5 х 10 │ │ │ │ 5 х 10 ││ ││

│ │ │ │ │ ││ -8 ││ -4 ││ │ │ │ │ ││ ││

│ │ │ │ │ ││ 3 х 10 ││ - 1 х 10 ││ │ │ │ │ ││ ││

│ │ └────────────────┘ └───────────────────┘└─────────────────┘└───────────────────┘└───────────────┘ └────────────┘ └───────────────┘└─────────────┘│

│ │ │

│ │ Примечание: │

│ │ дельта' - погрешности передачи размера единицы. │

│ │ 0 │

└──────┴────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────────┘

Часть 2. ШТРИХОВЫЕ МЕРЫ ДЛИНЫ И ИЗМЕРИТЕЛИ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

│ЛОНЫ │ │ ЕДИНЫЙ ЭТАЛОН ЕДИНИЦ ВРЕМЕНИ, ЧАСТОТЫ И ДЛИНЫ │ │

│ │ ││ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕРВИЧНЫЙ │ │аппаратура│ │ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕРВИЧНЫЙ││ │

│ │ ││ЭТАЛОН ЕДИНИЦ ВРЕМЕНИ И ЧАСТОТЫ├──┤ связи ├─┤ ЭТАЛОН ЕДИНИЦЫ ДЛИНЫ ││ │

│ │ │└───────────────────────────────┘ └──────────┘ └─────────────┬───────────┘│ │

│ │ └──────────────────────────────────────────────────────────────┼────────────┘ │

│ │ ┌──────────────────────┘ │

│ │ ┌────────────────────┬────────────────┬─────────────────┴──────────────────┐ │

│ │ │ │ ┌────────────┴──────┐ ┌─────┴─────────────┐ │

│ │ │ │ │Сличение при помощи│ │Сличение при помощи│ │

│ │ │ │ │ 100 - 1000 мм мер │ │ компаратора │ │

│ │ │ │ │ сравнения │ │ │ │

│ │ │ │ └────────────┬──────┘ └─────┬─────────────┘ │

│ │ │ │ │ │ │

│ │ │ │ ┌──┴────────────────────────────────────┴──┐ │

│ │ │ │ │ ЭТАЛОНЫ-КОПИИ │ │

│ │ │ │ │ Интерференционные установки для поверки │ │

│ │ │ │ │ штриховых мер длины │ │

│ │ │ │ │ 0,001 - 1000 м │ │

│ │ │ │ │ S = (0,02 + 0,04L) мкм │ │

│ │ │ │ │ СИГМА │ │

│ │ │ │ └─────────────────────┬────────────────────┘ │

│ │ ┌─────────────┼────────────────────┼───────────────────────────────────┤ │

│ │ │ ┌──────────┴───────┐ ┌─────┴───────┐ ┌──────────┴───────┐ │

│ │ │ │ Метод прямых │ │ Сличение │ │ Метод прямых │ │

│ │ │ │ измерений │ │ при помощи │ │ измерений │ │

│ │ │ │дельта' = 0,01 мкм│ │100 - 1000 мм│ │дельта' = 0,01 мкм│ │

│ │ │ │ │ │мер сравнения│ │ │ │

│ │ │ └─────────┬────────┘ └─────┬───────┘ └──────────┬───────┘ │

│ │ │ │ │ ├──────────────────────────────────────────────────────────────────────────┐ │

│ │ │┌───────────┴──────────────┐ ┌────┴─────────────────────┐ │ ┌──────────────┴─────────────┐ │

│ │ ││ Рабочие эталоны │ │ Рабочие эталоны │ │ │ Рабочие эталоны │ │

│ │ ││ Штриховые меры длины │ │ Установки для поверки │ │ │ Четырехметровый компаратор │ │

│ │ ││ 0,001 - 1000 мм │ │ штриховых мер длины │ │ │ с набором штриховых мер │ │

│ │ ││дельта = (0,03 + 0,1L) мкм│ │ 0,001 - 1000 мм │ │ │длины и геодезических жезлов│ │

│ │ ││ │ │дельта = (0,05 + 0,1L) мкм│ │ │ 1000 - 4000 мм │ │

│ │ │└───────────┬──────────────┘ └────┬─────────────────────┘ │ │ дельта = 0,2 - 0,3 мкм │ │

│ │ │ │ │ │ └──────────────┬─────────────┘ │

│ │ │ ┌────────┴──────────┐ ┌────┴─────────────────┐ │ ┌─────────┴────────┐ │

│ │ │ │Сличение при помощи│ │Метод прямых измерений│ │ │ Метод прямых │ │

├─ -- ┼ ┼─ ─┤ компаратора ├─ ──┤ дельта' = 0,02 мкм ├─ -- -- -- ──┼ -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- ──┤ измерений ├─ -- -- -- -- -- -- ─┤

│Образ-│ │ │ дельта = 0,1 мкм │ │ │ │ │дельта' = 0,1 мкм │ │

│цовые │ │ └────────┬──────────┘ └────┬─────────────────┘ │ └─────────┬────────┘ См. /\ │

│сред- │ │ │ └───────────────────────────────────┤ │ черт. 3 │ │

│ства │ │ └─────────────────────────────────────────────────────────┤ │ │ │

│изме- │ │ ┌──────────┴───────────────┐ ┌────────────┴───────────┐┌─────────────┴─────────┐│

│рений │ │ │ Штриховые меры длины, │ │ Установки для поверки ││Кварцевые геодезические││

│1-го │ │ │ дифракционные │ │ измерительных лент ││ жезлы ││

│раз- │ │ │голографические меры длины│ │ 0,001 - 24 м ││ 1000 и 1200 мм ││

│ряда │ │ │ 0,001 - 1000 мм │ │ дельта = (1 + 1L) мкм ││дельта = (0,02 + 0,2L) ││

│ │ │ │дельта = (0,1 + 0,2L) мкм │ │ ││ мкм ││

│ │ │ └──────────┬───────────────┘ └─────────────┬──────────┘└─────────────┬─────────┘│

│ │ │ ├───────────────────────────────────────────┐ │ │ │

│ │ │ ┌──────┴────────────┐ │ ┌─────────┴───────┐ │ │

│ │ │ │Сличение при помощи│ │ │ Метод прямых │ │ │

├─ -- ┼ ┼─ -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- ┤ компаратора ├─ -- -- -- -- -- -- -- ┼─ -- -- -- -- ──┤ измерений ├─ -- -- -- ──┼ -- -- ┤

│Образ-│ │ │ дельта' = 0,1 мкм │ │ │дельта' = 0,3 мкм│ │ │

│цовые │ │ └────────┬──────────┘ │ └─────────┬───────┘ │ │

│сред- │ │ ┌────────────────────────────────────────┤ │ │ │ │

│ства │ │ │ ┌──────────────────┴──────────────────┐ │ ┌───────────┴─────────┐ │ │

│изме- │ │ │ │Штриховые меры длины, голографические│ │ │ Измерительные ленты │ │ │

│рений │ │ │ │ измерительные системы линейных │ │ │ 0,001 - 24 м │ │ │

│2-го │ │ │ │ перемещений │ │ │дельта = (2 + 2L) мкм│ │ │

│раз- │ │ │ │ 0,001 - 1000 мм │ │ │ │ │ │

│ряда │ │ │ │ дельта = (0,2 + 0,5L) мкм │ │ │ │ │ │

│ │ │ │ └──────────────────┬──────────────────┘ │ └───────────┬─────────┘ │ │

│ │ │ │ ┌───────────────────┤ │ │ │ │

│ │ │ │ │ ┌────────┴──────────┐ │ ┌────────┴───────┐ │ │

│ │ │ │ │ │Сличение при помощи│ │ │Непосредственное│ │ │

├─ -- ┼ ┼─ -- -- -- -- -- -- -- ┼─ -- -- -- -- ─┼ -- -- ┤ компаратора ├─ -- -- -- -- -- -- -- ┼─ -- -- -- -- -- ┤ сличение ├─ -- -- -- ──┼ -- -- ┤

│Образ-│ │ │ │ │ дельта' = 0,5 мкм │ │ │дельта' = 10 мкм│ │ │

│цовые │ │ │ │ └────────┬──────────┘ │ └────────┬───────┘ │ │

│сред- │ │ │ ┌────┼───────────────────┤ │ ┌────────────┤ │ │

│ства │ │ │ │ │ ┌───────────────┴───────────────┐ │ │┌───────────┴───────────┐ │ │

│изме- │ │ │ │ │ │Штриховые меры длины, растровые│ │ ││ Измерительные ленты │ │ │

│рений │ │ │ │ │ │ измерительные преобразователи │ │ ││ 0,001 - 50 мм │ │ │

│3-го │ │ │ │ │ │ 0,1 - 1000 мм │ │ ││дельта = (10 + 10L) мкм│ │ │

│раз- │ │ │ │ │ │ дельта = (1 + 5L) мкм │ │ ││ │ │ │

│ряда │ │ │ │ │ └──────────────┬────────────────┘ │ │└────────────────┬──────┘ │ │

│ │ │ │ │ ├──────────────────┤ │ │ │ │ │

│ │ │ │ │ │ ┌────────┴──────────┐ │ │ │ │ │

│ │ │ │ │ │ │Сличение при помощи│ │ │ │ │ │

├─ -- ┼ ┼─ -- -- -- -- -- -- -- ┼─ -- -- -- ┼─ ─┼ -- -- ┤ компаратора ├─ -- -- -- -- -- -- -- ┼─ -- -- -- -- ┼─ -- -- -- ──┼ -- -- -- -- ──┼ -- -- ┤

│Образ-│ │ │ │ │ │ дельта' = 1 мкм │ │ │ │ │ │

│цовые │ │ │ │ │ └────────┬──────────┘ │ │ │ │ │

│сред- │ │ │ │ │ ├─────────────────────────────┐ │ │ │ │ │

│ства │ │ │ │ │ ┌──────────┴────────────┐ │ │ │ │ │ │

│изме- │ │ │ │ │ │ Штриховые меры длины │ │ │ │ │ │ │

│рений │ └────────────────────┐ │ │ │ │ 0,1 - 1000 мм │ │ │ │ │ │ │

│4-го │ │ │ │ │ │дельта = (20 + 30L) мкм│ │ │ См. черт. 1 │ │ │ │

│раз- │ См. черт. 1 │ │ │ │ └──────────┬────────────┘ │ │ /\ │ │ │ │

│ряда │ /\ │ │ │ └─────────────┐ └────────────┐ │ │ │ │ │ │ │

│ │ │ ┌───────────┴──────┐ │ │ ┌─────────┴───────┐ ┌───────┴────────┐ │ ┌─────────┴───────┐ │ │ ┌────────┴────────┐ ┌─────────┴─────────┐│

│ │ │ │ Метод прямых │ │ │ │ Метод прямых │ │Непосредственное│ │ │ Метод прямых │ │ │ │Непосредственное │ │Сличение при помощи││

├─ -- ┼─ ──┼ ──┤ измерений ├─ ┼─ -- -- -- ┼─ -- ─┤ измерений ├ ┤ сличение ├─ -- ┼─ ┤ измерений ├─ ┼─ -- ┼─ -- ─┤ сличение ├ ┤ компаратора ├┤

│Рабо- │ │ │дельта' = 0,01 мкм│ │ │ │дельта' = 0,5 мкм│ │дельта' = 0,3 мм│ │ │дельта' = 0,1 мкм│ │ │ │дельта' = 0,1 мкм│ │ дельта' = 3 мкм ││

│чие │ │ └───────────┬──────┘ │ │ └─────────┬───────┘ └───────┬────────┘ │ └──────────┬──────┘ │ │ └──────┬──────────┘ └──────────────┬────┘│

│сред- │ └────┬───────────┘ │ │ │ │ │ └────┬─────┘ │ ├──────────────┐ │ │

│ства │┌─────────┴────┐┌────────────────┴────┐┌─────────┴───────────┐┌─────┴─────┐┌──────────┴─────┐┌─────────┴──────────┐┌──────┴─────┐┌─────┴───────┐┌──────┴──────┐┌──────┴──────┐┌────┴────┐│

│изме- ││ Измерители ││Штриховые меры длины ││Штриховые меры длины ││Приборы для││ Складные меры ││Штриховые меры длины││ Измерители ││Измерительные││Измерительные││ Землемерные ││ Мерные ││

│рений ││ линейных ││ 0,1 - 2000 мм ││ 0,1 - 2000 мм ││ измерений ││ 0 - 1000 мм ││ 0,1 - 2000 мм ││ линейных ││ рулетки ││ рулетки ││ ленты ││проволоки││

│ ││ перемещений ││ Класс точности 0 ││ Класс точности 2 ││наружных и ││ ДЕЛЬТА = 1 мм ││ Класс точности 4 ││ перемещений││ до 50 м ││ до 100 м ││ до 50 м ││ до 24 м ││

│ ││0,01 - 1000 мм││ДЕЛЬТА = (0,5 + 0,5L)││ДЕЛЬТА = (2 + 2L) мкм││внутренних ││Нивелирные рейки││ ДЕЛЬТА = (10 + 15L)││1000 - 30000││ Класс ││ Класс ││ДЕЛЬТА = 3 мм││ДЕЛЬТА = ││

│ ││ ДЕЛЬТА = ││ мкм ││ Класс точности 3 ││ размеров ││ 0 - 4000 мм ││ мкм ││ мм ││ точности 1 ││ точности 2 ││ ││ 0,02 мм ││

│ ││(0,05 + 0,3L) ││ Класс точности 1 ││ДЕЛЬТА = (5 + 5L) мкм││0 - 1000 мм││ Измерительные ││ Класс точности 5 ││ ДЕЛЬТА = ││ ДЕЛЬТА = ││ ДЕЛЬТА = ││ ││ ││

│ ││ мкм ││ДЕЛЬТА = (1 + 1L) мкм││ Измерительные ││ ДЕЛЬТА = ││ линейки ││ ДЕЛЬТА = (20 + 30L)││(0,05 + 1L) ││ 0,2 - 2 мм ││ 0,4 - 10 мм ││ ││ ││

│ ││ ││ Измерительные ││ преобразователи ││ 1 - 5 мкм ││ 0 - 1000 мм ││ мкм ││ мкм ││ ││ Класс ││ ││ ││

│ ││ ││ преобразователи ││линейных перемещений ││ ││ ДЕЛЬТА = ││ Измерительные ││ ││ ││ точности 3 ││ ││ ││

│ ││ ││линейных перемещений ││ 0 - 8000 мм ││ ││ 0,1 - 0,2 мм ││ преобразователи ││ ││ ││ ДЕЛЬТА = ││ ││ ││

│ ││ ││ 0 - 3200 мм ││ДЕЛЬТА = 1,5 - 20 мкм││ ││ Лесные вилки ││линейных перемещений││ ││ ││ 0,4 - 14 мм ││ ││ ││

│ ││ ││ ДЕЛЬТА = 0,3 - 3,5 ││ ││ ││ 1 - 750 мм ││ 0 - 32000 мм ││ ││ ││ ││ ││ ││

│ ││ ││ мкм ││ ││ ││ДЕЛЬТА = 2 - 7,5││ДЕЛЬТА = 5 - 120 мкм││ ││ ││ ││ ││ ││

│ ││ ││ ││ ││ ││ мкм ││ ││ ││ ││ ││ ││ ││

│ │└──────────────┘└─────────────────────┘└─────────────────────┘└───────────┘└────────────────┘└────────────────────┘└────────────┘└─────────────┘└─────────────┘└─────────────┘└─────────┘│

│ │ │

│ │ Примечания: │

│ │ 1. Значения погрешностей даны по модулю. │

│ │ 2. L - числовое значение длины в метрах. │

│ │ 3. дельта' - погрешности передачи размера единицы. │

│ │ 4. Погрешности передачи размера единицы вторичных эталонов указаны в документации на них. │

Часть 3. ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫЕ КОНЦЕВЫЕ МЕРЫ ДЛИНЫ

│ЛОНЫ │ │ ЕДИНЫЙ ЭТАЛОН ЕДИНИЦ ВРЕМЕНИ, ЧАСТОТЫ И ДЛИНЫ │ │

│ │ ││ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕРВИЧНЫЙ │ │аппаратура│ │ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕРВИЧНЫЙ││ │

│ │ ││ЭТАЛОН ЕДИНИЦ ВРЕМЕНИ И ЧАСТОТЫ├──┤ связи ├─┤ ЭТАЛОН ЕДИНИЦЫ ДЛИНЫ ││ │

│ │ ┌───────────────────────────────────────────────────┬──────────────────────┘ │

│ │ │ ┌─────────────────┴──────────────────┐ │

│ │ │ ┌────────────┴──────┐ ┌─────┴─────────────┐ │

│ │ │ │Сличение при помощи│ │Сличение при помощи│ │

│ │ │ │ 100 - 1000 мм мер │ │ компаратора │ │

│ │ │ │ сравнения │ │ │ │

│ │ │ └────────────┬──────┘ └─────┬─────────────┘ │

│ │ │ ┌───────┴────────────────────────────────────┴──────┐ │

│ │ │ │ ЭТАЛОНЫ-КОПИИ │ │

│ │ │ │ Интерференционные установки для поверки │ │

│ │ │ │плоскопараллельных концевых мер длины в длинах волн│ │

│ │ │ │ 0,1 - 100 мм и 100 - 1000 мм │ │

│ │ │ │ S = (0,01 + 0,04L) мкм │ │

│ │ │ │ СИГМА │ │

│ │ │ └──────────────────────────┬────────────────────────┘ │

│ │ ┌───────┴───────────┐ │ │

│ │ │Сличение при помощи│ ├───────────────────────────────────────────────────────────────────┬───────────────────┐ │

│ │ │ 100 - 1000 мм мер │ │ │ │ │

│ │ │ сравнения │ │ │ │ │

│ │ └───────┬───────────┘ │ │ │ │

│ │ ┌────────────────┴────────────────────┐ │ │ │ │

│ │ │ РАБОЧИЕ ЭТАЛОНЫ │ │ │ │ │

│ │ │Интерферентные установки для поверки │ │ │ │ │

│ │ │плоскопараллельных концевых мер длины│ │ │ │ │

│ │ │ в длинах волн │ │ │ │ │

│ │ │ 0,1 - 100 мм и 100 - 1000 мм │ │ │ │ │

│ │ │ дельта = (0,02 + 0,1L) мкм │ │ │ │ │

│ │ └────────────────┬────────────────────┘ │ │ │ │

│ │ ┌─────────────────┴────────────────────────────────────────────────┐ │ │ │ │

│ │ │ ┌──────┴───┴───────────┐ ┌──────────┴───────┐ ┌─────────┴────────┐ │

│ │ │ │Метод прямых измерений│ │ Сличение при │ │ Метод прямых │ │

├─ -- ┼ ┼─ -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- ┤ дельта' = 0,01 мкм ├─ -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- ─┤помощи компаратора├ ┤ измерений ├ ┤

│Образ-│ │ │ │ │дельта' = 0,02 мкм│ │дельта' = 0,01 мкм│ │

│цовые │ │ └──────────┬───────────┘ └──────────┬───────┘ └─────────┬────────┘ │

│сред- │ │ ┌────────────┴───────────┐ ┌─────────────────┴────────┐ ┌────────┴────────┐ │

│ства │ │ │ Плоскопараллельные │ │ Приборы для поверки │ │Кварцевые геоде- │ │

│изме- │ │ │ концевые меры длины │ │ средств измерений │ │зические жезлы │ │

│рений │ │ │ 0,1 - 1000 мм │ │ внутренних размеров │ │1000 и 1200 мм │ │

│1-го │ │ │ дельта = (0,02 + 0,2L) │ │ 1 - 160 мм │ │дельта = (0,02 + │ │

│раз- │ │ │ мкм │ │дельта = (0,05 + 0,5L) мкм│ │ 0,2L) мкм │ │

│ряда │ │ └────────────┬───────────┘ └─────────────────┬────────┘ └────────┬────────┘ │

│ │ │ ┌─────────────────────────────────────────────┼────────────────────────────────────┐ │ │ │

│ │ │ ┌──────┴─────┐ ┌─────────┴────────┐ ┌──────┴─────┐ ┌──────┴─────┐ \/ │

│ │ │ │Метод прямых│ │ Сличение при │ │Метод прямых│ │Метод прямых│ См. черт. 2 │

├─ -- ┼ ┼─ -- -- -- ──┤ измерений ├── -- -- -- -- -- -- ─┤помощи компаратора├─ -- -- -- -- ─┤ измерений ├── -- -- -- ─┤ измерений ├─ -- -- -- -- -- ─┤

│Образ-│ │ │ дельта' = │ │дельта' = 0,02 мкм│ │ дельта' = │ │ дельта' = │ │

│цовые │ │ │ 0,02 мкм │ │ │ │ 0,03 мкм │ │ 0,05 мкм │ │

│сред- │ │ └──────┬─────┘ └─────────┬────────┘ └──────┬─────┘ └──────┬─────┘ │

│ства │ ├──┬──────────┬──────────┴────────────┐ ┌───────────────┼────────────────────────────────────┼──────────────────────────────┤ │

│изме- │ │ │ ┌────────┴────────────┐ ┌────────┴─────────────┐ │ ┌────────────┴───────────┐ ┌───────────┴───────────┐ ┌─────────┴─────────────┐ │

│рений │ │ │ │Установки для поверки│ │Установки для поверки │ │ │ Плоскопараллельные │ │ Приборы для поверки │ │ Измерительные │ │

│2-го │ │ │ │измерительных головок│ │измерительных преобра-│ │ │ концевые меры длины │ │ средств измерений │ │ кольца │ │

│раз- │ │ │ │ 0,1 - 10 мм │ │зователей и приборов │ │ │ 0,1 - 1000 мм │ │ внутренних размеров │ │ 1 - 160 мм │ │

│ряда │ │ │ │дельта = 0,04 - 2 мкм│ │в динамическом режиме │ │ │ дельта = (0,05 + 0,5L) │ │ 1 - 200 мм │ │дельта = (0,1 + 1L) мкм│ │

│ │ │ │ │ │ │0,005 - 0,2 мм, │ │ │ мкм │ │дельта = (0,1 + 1L) мкм│ │ │ │

│ │ │ │ └────────┬────────────┘ │дельта = 0,005 - 2 мкм│ │ └────────────┬───────────┘ └───────────┬───────────┘ └─────────┬─────────────┘ │

│ │ │ │ │ └────────┬─────────────┘ │ ├───────────────────┬────────────────┼───────────────────┬──────────┴────────┐ │

│ │ │ │ │ │ │ ┌─────────┴────────┐ ┌──────┴─────┐ ┌──────┴─────┐ ┌─────────┴────────┐ ┌──────┴─────┐ │

│ │ │ │ │ │ │ │ Сличение при │ │Метод прямых│ │Метод прямых│ │ Сличение при │ │Метод прямых│ │

├─ -- ┼ ┼─ ┼─ -- -- ┼─ -- -- -- -- -- ┼─ -- -- -- ─┼─ ──┤помощи компаратора├─ ┤ измерений ├─ ┤ измерений ├─ ┤помощи компаратора├─ ┤ измерений ├─ -- -- -- ┤

│Образ-│ │ │ │ │ ┌──────────────┘ │дельта' = 0,05 мкм│ │ дельта' = │ │ дельта' = │ │дельта' = 0,5 мкм │ │ дельта' = │ │

│цовые │ │ │ │ │ │ │ │ │ 0,05 мкм │ │ 0,05 мкм │ │ │ │ 0,05 мкм │ │

│сред- │ │ │ │ │ │ └─────────┬────────┘ └──────┬─────┘ └──────┬─────┘ └─────────┬────────┘ └──────┬─────┘ │

│ства │ │ │ │ │ │ │ │ └───┬───────┬───────┘ │ │

│изме- │ │ │ │ │ │┌─────────────────────────────┤ └───────┐ │ │ └────────┬──────────┐ │

│рений │ │ │ │ │ ││ ┌────────────┴───────────┐ ┌─────────────┴─────────┐ │ ┌────┴──────────────────┐ ┌───────────────┴───────┐ │ │

│3-го │ │ │ │ │ ││ │ Плоскопараллельные │ │ Измерительные системы │ │ │ Измерительные │ │ Приборы для поверки │ │ │

│раз- │ │ │ │ │ ││ │ концевые меры длины │ │гибких производственных│ │ │ кольца │ │ средств измерений │ │ │

│ряда │ │ │ │ │ ││ │ 0,1 - 1000 мм │ │ модулей │ │ │ 1 - 160 мм │ │ внутренних размеров │ │ │

│ │ │ │ │ │ ││ │ дельта = (0,1 + 1L) мкм│ │ 0,1 - 1000 мм │ │ │дельта = (0,2 + 2L) мкм│ │ 1 - 200 мм │ │ │

│ │ │ │ │ │ ││ │ │ │дельта = 0,15 - 1,5 мкм│ │ │ │ │дельта = (0,2 + 2L) мкм│ │ │

│ │ │ │ │ │ ││ └────────────┬───────────┘ └───────────┬───────────┘ │ └─────────────┬─────────┘ └───────────────┬───────┘ │ │

│ │ │ │ │ │ ││ │ │ └────────┐ │ │ │ │

│ │ │ │ │ │ ││ │ └───────────────────┐ │ └──────┐ │ │ │

│ │ │ │ │ │ ││ ┌─────────────────────┼─────────────────────┐ │ │ │ │ │ │

│ │ │ │ │ │ ││┌──────┴─────┐ ┌─────────┴────────┐ ┌──────┴─────┐ │ │ ┌─────────┴────────┐ ┌──────┴─────┐ │ │

│ │ │ │ │ │ │││Метод прямых│ │ Сличение при │ │Метод прямых│ │ │ │ Сличение при │ │Метод прямых│ │ │

├─ -- ┼ ┼─ ┼─ -- -- ┼─ -- -- -- -- -- ┼─┼┼┤ измерений ├─ ──┤помощи компаратора├─ ──┤ измерений ├── -- -- -- ─┼─ ─┼─ ─┤помощи компаратора├─ ─┤ измерений ├─ ─┼ ┤

│Образ-│ │ │ │ │ │││ дельта' = │ │дельта' = 0,15 мкм│ │ дельта' = │ │ │ │дельта' = 0,2 мкм │ │ дельта' = │ │ │

│цовые │ │ │ │ │ │││ 0,1 мкм │ │ │ │ 0,1 мкм │ │ │ │ │ │ 0,1 мкм │ │ │

│сред- │ │ │ │ │ ││└──────┬─────┘ └─────────┬────────┘ └──────┬─────┘ │ │ └────────┬─────────┘ └──────┬─────┘ │ │

│ства │ │ │ │ │ ││ │ ┌───────────────┤ └───────┐ │ │ └────┐ ┌─────────┴────────┐ │ │

│изме- │ │ │ └───────┐ │ ││ │ │ ┌────────────┴────────────┐ ┌─────────────┴────────────┐ │ │ ┌─────────┴──────┴──────┐ │ │ │

│рений │ │ │ │ │ ││ │ │ │ Плоскопараллельные │ │ Приборы для проверки │ │ │ │ Измерительные │ │ │ │

│4-го │ │ └──────────┐ │ │ ││ │ │ │ кольцевые меры длины │ │индикаторов и индикаторных│ │ │ │ кольца │ │ │ │

│раз- │ │ │ │ │ ││ │ │ │ 0,1 - 1000 мм │ │ нутромеров │ │ │ │ 1 - 160 мм │ │ │ │

│ряда │ │ │ │ │ ││ │ │ │ дельта = (0,2 + 2L) мкм │ │ 0 - 10 мм │ │ │ │дельта = (0,5 + 5L) мкм│ │ │ │

│ │ │ │ │ │ ││ │ │ │ │ │ дельта = 0,5 - 1,5 мкм │ │ │ │ │ │ │ │

│ │ │ │ │ │ ││ └───┐ │ └────────────┬────────────┘ └──────────────┬───────────┘ │ │ └─────┬─────────────────┘ │ │ │

│ │ └────┐ │ │ │ │└─────────┐ │ │ ├──────────────┐ │ │ │ │ │ │ │

│ │ │ │ │ │ └────────┐ │ │ │ │ │ │ │ └──────┐ ├──────────────────┐ │ │ │

│ │┌─────┴──────┐ │ ┌─────┴──────┐ ┌─────┴──────┐ │ │ │ │ ┌────────────┴─────┐ ┌──────┴─────┐ ┌──────┴─────┐ ┌──────┴─────┐ │ ┌─────┴──────┐ ┌─────────┴────────┐ │ │ │

│ ││Метод прямых│ │ │Метод прямых│ │Метод прямых│ │ │ │ │ │ Сличение при │ │Метод прямых│ │Метод прямых│ │Метод прямых│ │ │Метод прямых│ │ Сличение при │ │ │ │

├─ -- ┼┤ измерений ├ ┼ ┤ измерений ├ ─┤ измерений ├─ ┼ ┼─┼ ┼ ┤помощи компаратора├ ┤ измерений ├ ─┤ измерений ├ ┤ измерений ├─ - ┼─┤ измерений ├ ┤помощи компаратора├ ┼ ┼ ┤

│Рабо- ││ дельта' = │ │ │ дельта' = │ │ дельта' = │ │ │ │ │ │дельта' = 0,3 мкм │ │ дельта' = │ │ дельта' = │ │ дельта' = │ │ │ дельта' = │ │дельта' = 0,3 мкм │ │ │ │

│чие ││ 0,05 мкм │ │ │ 0,05 мкм │ │ 0,05 мкм │ │ │ │ │ │ │ │ 0,3 мкм │ │ 0,5 мкм │ │ 0,2 мкм │ │ │ 0,2 мкм │ │ │ │ │ │

│сред- │└─────┬──────┘ │ └─────┬──────┘ └─────┬──────┘ │ │ │ │ └────────────┬─────┘ └──────┬─────┘ └──────┬─────┘ └──────┬─────┘ │ └─────┬──────┘ └──────────┬───────┘ │ │ │

│ства │ │ │ │ │ │ │ │ │ └───┬─────┐ │ │ └───────┐ │ │ │ │ │ │

│изме- │ │ │ └──────┐ │ │ │ │ │ │ │ ├───────────────┴───────┐ │ │ └────────────┐ │ │ │ │

│рений │ │ │ │ │ │ │ │ └──────────────────┐│ │ │ │ │ │ │ │ ┌────┤ │ │

│ │ │ │ │ │ │ │ └───────────────────┐││ │ │ │ │ └───────────┐ │ │ │ │ │ │

│ │ │ ├───────┐ │ │ │ └───────────┐ │││ │ └───┬───────┐ │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ │┌─────┴──────┐ │ ┌─────┴────┐ │ ┌──────┴──────┐ ┌─┴────────┐ ┌──┴───────┐ │││ ┌───┴──────┐ │ ┌─────┴─────┐ ┌───┴───────┐ ┌────┴──────┐ ┌─────┴──────┐ │ ┌────┴────┴──┐ │ │ │

│ ││Плоскопарал-│ │ │Контактные│ │ │Преобразова- │ │Плоскопа- │ │Плоскопа- │ │││ │Плоскопа- │ │ │Приборы для│ │Приборы для│ │Средства │ │Установочные│ │ │Установочные│ │ │ │

│ ││лельные │ │ │интерферо-│ │ │тели, приборы│ │раллельные│ │раллельные│ │││ │раллельные│ │ │ измерений │ │ измерений │ │автоматизи-│ │ кольца │ │ │ кольца │ │ │ │

│ ││концевые │ │ │метры с │ │ │автоматизиро-│ │концевые │ │концевые │ │││ │концевые │ │ │ наружных │ │ наружных и│ │рованного │ │ 1 - 160 мм │ │ │ 1 - 160 мм │ │ │ │

│ ││меры длины │ │ │ценой │ │ │ванного │ │меры длины│ │меры длины│ │││ │меры длины│ │ │ размеров │ │внутренних │ │контроля │ │ ДЕЛЬТА = │ │ │ ДЕЛЬТА = │ │ │ │

│ ││Класс │ │ │деления │ │ │контроля │ │Класс │ │Класс │ │││ │Классы │ │ │0 - 2000 мм│ │размеров │ │гибких │ │ (0,3 + 3L) │ │ │(1,5 + 15L) │ │ │ │

│ ││точности │ │ │0,02 - 0,2│ │ │Средства │ │точности 0│ │точности 1│ │││ │точности │ │ │ ДЕЛЬТА = │ │0 - 2000 мм│ │производст-│ │ мкм │ │ │ мкм │ │ │ │

│ ││00,01 │ │ │мкм │ │ │измерений, │ │0,1 - 1000│ │0,1 - 1000│ │││ │4, 5 │ │ │(0,6 + 6L) │ │ДЕЛЬТА = │ │венных │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ ││0,1 - 1000 │ │ │ДЕЛЬТА = │ │ │работающие в │ │мм │ │мм │ │││ │0,1 - 1000│ │ │ мкм │ │1 - 36 мкм │ │систем │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ ││мм │ │ │0,02 - 0,1│ │ │динамическом │ │ДЕЛЬТА = │ │ДЕЛЬТА = │ │││ │мм │ │ │ │ │ │ │0 - 500 мм │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ ││ДЕЛЬТА = │ │ │мкм │ │ │режиме │ │0,1 - 2 │ │0,2 - 4 │ │││ │ДЕЛЬТА = │ │ │ │ │ │ │ДЕЛЬТА = │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ ││0,05 - 1 мкм│ │ │ │ │ │ДЕЛЬТА = │ │мкм │ │мкм │ │││ │2 - 40 мкм│ │ │ │ │ │ │0,001 - 1 │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ ││ДЕЛЬТА = │ │ │ │ │ │0,2 - 100 мкм│ │ │ │ │ │││ │ │ │ │ │ │ │ │мкм │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ ││0,18 - 4 мкм│ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │││ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ │└────────────┘ │ └──────────┘ │ └─────────────┘ └──────────┘ └──────────┘ │││ └──────────┘ │ └───────────┘ └───────────┘ └───────────┘ └────────────┘ │ └────────────┘ │ │ │

│ │ ┌─────────┘ │ ┌────────────┬─────────────────────────┘││ │ ┌────────────────┘ │ │ │

│ │ │ ┌────────┬───────────┘ │ │ ┌─────────────┤└────────────┐ └────────────┬─────────────┐ │ ┌───────────────────┘ │ │

│ │ │ │ │ ┌─────────┤ │ │ │ │ │ │ │ │ ┌──────┘ │

│ │┌────┴───┴──┐ ┌───┴──────┴┐ ┌──────┴────┐ ┌─────┴─────┐ ┌────┴─────┐ ┌─────┴────┐ ┌──────┴───────┐ ┌────┴──────┐ ┌────┴──────┐ ┌─────┴─────┐ ┌─────┴──────┐ ┌─────┴─────┐ │

│ ││Приборы для│ │Приборы для│ │Приборы для│ │Приборы для│ │Плоскопа- │ │Плоскопа- │ │ Установочные │ │Приборы для│ │Приборы для│ │Приборы для│ │Установочные│ │Приборы для│ │

│ ││ измерений │ │ измерений │ │ измерений │ │ измерений │ │раллельные│ │раллельные│ │концевые меры │ │ измерений │ │измерений │ │ измерений │ │ кольца │ │ измерений │ │

│ ││ наружных │ │ наружных │ │ наружных │ │ наружных │ │концевые │ │концевые │ │ ДЕЛЬТА = │ │ наружных │ │наружных │ │внутренних │ │ 1 - 160 мм │ │внутренних │ │

│ ││ размеров │ │ размеров │ │ размеров │ │ размеров │ │меры длины│ │меры длины│ │ 1 - 7 мкм, │ │ размеров │ │размеров, │ │ размеров │ │ │ │ размеров │ │

│ ││0 - 0,05 мм│ │0 - 100 мкм│ │0 - 500 мм │ │100 - 1000 │ │Класс │ │Класс │ │ Проволочки │ │0 - 2000 мм│ │штанген- │ │0 - 260 мм │ │ ДЕЛЬТА = │ │0 - 260 мм │ │

│ ││ ДЕЛЬТА = │ │ ДЕЛЬТА = │ │ ДЕЛЬТА = │ │ мм │ │точности 2│ │точности 3│ │ и ролики │ │ ДЕЛЬТА = │ │инструмент │ │ ДЕЛЬТА = │ │ (0,6 + 6L) │ │ ДЕЛЬТА = │ │

│ ││ 0,1 - 0,2 │ │ 0,3 - 10 │ │(0,3 + 3L) │ │ ДЕЛЬТА = │ │0,1 - 1000│ │0,1 - 1000│ │ ДЕЛЬТА = │ │(1,5 + 15L)│ │0 - 2500 мм│ │(1,5 + 15L)│ │ мкм │ │(0,3 + 3L) │ │

│ ││ мкм │ │ мкм │ │ мкм │ │(0,3 + 9L) │ │мм │ │мм │ │ 0,5 - 5 мкм │ │ мкм │ │ДЕЛЬТА = │ │ мкм │ │ │ │ мкм │ │

│ ││ │ │ │ │ │ │ мкм │ │ДЕЛЬТА = │ │ДЕЛЬТА = │ │Принадлежности│ │ │ │20 - 300 │ │ │ │ │ │ │ │

│ ││ │ │ │ │ │ │ │ │0,4 - 8 │ │0,8 - 16 │ │ к концевым │ │ │ │мкм │ │ │ │ │ │ │ │

│ ││ │ │ │ │ │ │ │ │мкм │ │мкм │ │ мерам │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ ││ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ (боковики) │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ ││ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ДЕЛЬТА = 1 мкм│ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │ │

│ │└───────────┘ └───────────┘ └───────────┘ └───────────┘ └──────────┘ └──────────┘ └──────────────┘ └───────────┘ └───────────┘ └───────────┘ └────────────┘ └───────────┘ │

│ │ │

│ │ Примечания: │

│ │ 1. Значения погрешностей даны по модулю. │

│ │ 2. L - числовое значение длины в метрах. │

│ │ 3. дельта' - погрешности передачи размера единицы. │

│ │ 4. Погрешности передачи размера единицы вторичных эталонов указаны в документации на них. │